法勒公司启用了用于研发的OHT测试设备

法勒已在施沃伊希（Schwoich）基地启用了用于天车搬运（OHT）系统的新研发与测试环境。该设施是该公司在半导体市场研发战略的重要组成部分，将作为内部平台，用于设计、测试和验证非接触供电系统的解决方案。

“OHT测试设施为我们提供了一个核心基础，使我们能够针对半导体行业的具体需求进一步开发相关技术，”VAHLE产品管理与市场营销总监Marc Detweiler表示。“它使我们能够在接近实际的条件下测试新系统，并对其进行持续优化。”

OHT系统在半导体行业中用于自动化的空中供电轨道物料运输。运输系统沿厂房顶部的轨道运行，将运输容器（即所谓的FOUPs，前开式统一托盘）或料仓自主地从一个工艺站运送到下一个工艺站。

它们承担的任务包括运输晶圆——即用于制造微芯片的薄硅片。这些晶圆在生产过程中由FOUP进行保护并运送。在所谓的集成电路（IC）封装领域，即芯片的后续加工和封装过程中，OHT系统同样确保了物料的连续流动。

对这些系统的要求极高：除了最大程度的可用性外，洁净室适用性、动态性能和运行安全性也起着关键作用。“凭借施沃伊希（Schwoich）的新测试基础设施，我们创建了一个贴近现实的开发环境，可以在接近实际应用的条件下对新一代产品进行测试，”Detweiler解释道。

这包括在预定义的加速度和负载曲线下进行压力测试，以及在连续运行中验证非接触式供电传输。此外，该设施还能够对系统的动态性能、电力传输和热行为之间的相互作用进行详细分析。

该测试环境的一大优势在于能够完全在内部完成开发和优化流程。“这使得新技术的测试和进一步开发可以独立于正在运行的客户系统进行，”Detweiler表示。同时，由于测试可以灵活且可重复地进行，新解决方案的开发周期也得以缩短。

随着半导体制造日益复杂，高效且稳定的运输解决方案变得越来越重要。基础技术的持续发展对于确保整个价值链上的工艺安全性和效率至关重要。

随着 OHT 测试系统的投入运行，VAHLE 巩固了其在半导体行业自动化物料流系统领域的开发合作伙伴地位。该系统为未来的产品开发奠定了基础，并助力公司应对 OHT 领域日益增长的性能和可靠性要求。